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四川省重点研发立项项目《微型显微镜高精度三维位移平台》简介
2022-04-12 19:37  

项目负责人:郭阳

类别:四川省重点研发项目

来源:四川省科技厅

题目:微型显微镜高精度三维位移平台

经费:100万

项目简介:本项目主要是实现一个高精度的三方位微位移平台,计划采用新型高温压电陶瓷堆叠作为驱动部件,结合压电粘滑驱动机理实现大位移、大力矩;利用微小陶瓷滚珠作为引导,采用闭环反馈芯片控制策略提高设备的速度与精度;采用新型机电一体化技术,结合设备的紧凑设计实现设备的微型化;结合现代的物联网技术实现智能物联;同时研究抑制压电陶瓷迟滞特性和蠕变特性的控制办法。最终制作出大位移、高精度、低功耗、高速度、大载体的高智能位移平台。进一步,搭载其他设备可实现更多的应用,市场价值无可估量。

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